AOI粒子检视觉核心算法软件来源于日本PFA，系统主要性能参数如下：
分辨率：0.5μm；
IC：检测框Bump的全数检查
・全Bump的压痕判定
・Bump有效粒子数判定：Min. 2.5μm
・Bump连接偏位判定：±1μm
・检测框内Bump上的异物/划伤/气泡/破片判定：5μm
・Bump间异物判定
FPC：检测框Bump的全数检查
・全Bump的压痕判定
・Bump有效粒子数判定：Min. 2.5μm
・Bump连接偏位判定：±2μm
・检测框内Bump上的异物/划伤气泡/破片判定：10μm
・Bump间异物判定
过检率：10%以下
漏检率：0%