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干燥(drying process)

发布时间:2012-9-5 15:12:02   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 干燥(drying process)

中文:干燥

英文:drying process

日文:

去除物体表面水分或溶液。光刻工艺中的前烘工序也称干燥。目的是促使胶膜内溶剂充分挥发,使胶膜干燥,以增加胶膜与基板表面的粘附性。干燥方法有红外炉干燥和热风炉干燥等。使用的温度和时间都不同于光刻图形完成后的坚膜。


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