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激光掺杂装置(laser doping system)

发布时间:2012-9-7 15:29:11   编辑:hesz  来源:中华液晶网
提要: 激光掺杂装置(laser doping system)

中文:激光掺杂装置

英文:laser doping system

日文:

这种装置用于LCD的前工序,即在制作TFT基板时,进行掺杂、扩散,当对大面积硅膜照以紫外激光时,因光化学反应而使杂质气体分解的同时,被照硅膜部分也局部熔化,从而实现对此部分进行掺杂的装置叫激光掺杂装置。这种方法和离子注入法不同,它不用进行退火处理,因此是这种方法抑制了缺陷的生成并进行了活化。可把短波长的准分子激光用于此种方法。


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