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图形比较检查(pattern comparison)

发布时间:2012-9-11 15:12:24   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 图形比较检查(pattern comparison)

中文:图形比较检查

英文:pattern comparison

日文:

将加工图形与标准图形进行比较的检查方法。例如,将经过光刻工艺形成图形的TFT阵列基板与标准的TFT阵列基板进行比较以发现缺陷的检查方法。


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