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坚膜(post bake)

发布时间:2012-9-12 15:41:03   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 坚膜(post bake)

中文:坚膜

英文:post bake

日文:

光刻工艺中的坚膜工序。坚膜是在显影后以适当的温度烘干玻璃以除去水分并增强其聚合,提高强度的工艺,它增强了胶膜与玻璃的粘附性。设定坚膜所需的温度与时间,应以膜层图形的牢固性和不致变形为原则。


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