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湿法去膜设备(wet-type resist stripping system)

发布时间:2012-9-17 13:40:37   编辑:chx  来源:中华液晶网
提要: 湿法去膜设备(wet-type resist stripping system)

湿法去膜设备(wet-type resist stripping system)
 

中文:湿法去膜设备


英文:wet-type resist stripping system


日文:


光刻工艺中的去膜工序所用的设备。湿法去膜就是把刻蚀后的玻璃浸渍在去胶液(一般是碱液)中去掉玻璃上剩余的光刻胶


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