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林德温室气体专利氟技术获行业认证

发布时间:2012/12/13 10:14:36   编辑:hesz
提要: 林德集团旗下林德电子通过了韩国显示器行业协会(KDIA)的权威认证,在中国新兴的显示器行业中进一步巩固了其技术领先地位。现场产氟技术已被成功认定为可替代具有较高全球变暖潜值(GWP)的六氟化硫 (SF6),该技术目前应用于TFT-LCD面板的干式蚀刻工艺。
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林德集团旗下林德电子通过了韩国显示器行业协会(KDIA)的权威认证,在中国新兴的显示器行业中进一步巩固了其技术领先地位。现场产氟技术已被成功认定为可替代具有较高全球变暖潜值(GWP)的六氟化硫 (SF6),该技术目前应用于TFT-LCD面板的干式蚀刻工艺。

林德集团是向中国平板显示器行业提供大宗气体和电子特气的主要供应商。林德集团的两家合资公司联华林德和广钢林德已与中国三大显示器制造商-京东方、三星电子和华星光电签订了大宗气体供应合同,为这些公司的 8.5 代液晶面板厂供应大宗气体,以提高 TFT-LCD制造流程的成本效益和环境效率。林德在上述三个项目上的投资总额约1亿欧元。

相比于全球变暖潜值较高的氟化气体,如三氟化氮(NF3),现场氟气(F2)在显示器内腔清洁上的应用已逐渐凸显其效益。一家该协会成员公司率先在厂内进行实验,以验证林德的现场氟气能否在干式蚀刻应用中直接替代SF6,实验结果验证了以下几大环保和性能优势:

·消除温室气体(SF6 的全球变暖潜值比二氧化碳 (CO2) 大 23900 倍)。

·加快蚀刻速率,降低工艺能耗。

·简化废气处理工艺

4.5 代面板(尺寸为730 x 920mm)的评估结果显示,将氟气应用于二氧化硅膜和氮化硅膜中,蚀刻速率和蚀刻均匀性方面均有显著改进,同时保持了相同特征的锥角。

韩国显示器行业协会的多个项目力求改善显示器制造的环境影响,特别强调要减少使用SF6。“这些实验首次证明了氟气可用于替代SF6,事实上其性能更好,”KDIA 研发策划团队经理 Hyun Jin Kim 表示。这些积极的结果得到验证后,KDIA 目前计划对F2进行评估,准备将其作为SF6的替代品应用于更大尺寸的面板中。

林德多年来一直支持现场制氟的发展,最近又对韩国仁州的氟气制造工厂进行二次扩建,以满足中国乃至亚洲不断增长的订单需求。

联华林德和广钢林德可随时为中国新兴显示器行业的客户效劳,致力于安全的林德专利现场氟气生产设备,以生产效率更高、更节能和更环保的氟气替代电子制造业蚀刻和清洁工艺中具有高全球变暖潜值的气体(如 NF3 和SF6)。

林德集团氟产品业务总监Carl Jackson强调:“我们非常荣幸林德的现场制氟技术通过了KDIA的权威认证。这进一步肯定了我们致力于降低显示器制造的环境影响、帮助中国制造商改善他们的工艺性能的承诺。”

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