触控技术网|进鼎集团|帮助中心
欢迎您,
彤光科技
BOE

应用材向8.5和6代屏推PECVD和PVD

发布时间:2013/11/4 9:12:46   编辑:yyp
提要: 应用材料公司显示事业部(AKT)在10月23~25日于日本横滨举行的2013年国际平板显示器展(FPDI 2013)前不久,推出了面向8.5代、6代和5.5代高清(HD)、超高清(4K)液晶电视屏和OLED显示屏的AKT 55KS PECVD、AKT-PiVot 55K DT PVD和AKT-PiVot 25K DT PVD设备。10月29日,AKT高管团队在北京的媒体沟通会上详细介绍了上述设备。
博锐自动化

应用材料公司显示事业部(AKT)在10月23~25日于日本横滨举行的2013年国际平板显示器展(FPDI 2013)前不久,推出了面向8.5代、6代和5.5代高清(HD)、超高清(4K)液晶电视屏和OLED显示屏的AKT 55KS PECVD、AKT-PiVot 55K DT PVD和AKT-PiVot 25K DT PVD设备。10月29日,AKT高管团队在北京的媒体沟通会上详细介绍了上述设备。

55KS PECVD系统最多有5个高温处理腔室;2个进出口腔室(DSSL),中间采用传送腔;双臂真空机械手。适用于2200mm×2500mm的8.5代基板,玻璃厚度在0.5~0.7mm,机械吞吐量是65片/小时。

AKT 55KS PECVD设备中,利用二氧化硅(SiO2)工艺,使金属氧化物(MO)薄膜晶体管(TFT)沉积电介质界面有较低的氢含量,确保金属氧化物薄膜晶体管在长期使用中,不会因氢的侵袭影响临界电压的稳定性(见图1)。

图1 金属氧化物薄膜晶体管沉积电介质界面实现了较低的氢含量

另外,为提高产品良率实现了很低的颗粒控制。

想更便捷地了解液晶产业最新资讯?那就关注中华液晶网推出的微信公共平台吧!本平台将推送每日最新、最具看点的液晶产业资讯。微信平台使用帮助请关注后发送“help”。具体关注方式:微信关注“中华液晶网”(微信号:fpdisplay)或扫描以下二维码:

分享到: 6.02K

评论区>>查看更多评论

网友评论仅供网友表达个人看法,并不表明液晶网同意其观点或证实其描述。