3月14日,由国际半导体产业协会(SEMI)中国委员会主办的SEMICON China 2017 国际半导体展在上海新国际博览中心拉开帷幕。FPD China 2017作为中国平板显示的标志性活动,今年已经是第十四届,触摸屏专区和OLED专区覆盖制造、设备、触摸屏材料及零组件、应用产品、软件支持、方案整合等全产业供应链。
作为真空技术的引领者,莱宝携检漏仪、磁悬浮分子泵、新型真空规和干式真空机组等拳头产品亮相FPD展,受到业届广泛关注。
带有显示屏的干式真空机组展示泵,可以现场演示机组内部运行原理
DRYVAC系统
基于DRYVAC干式螺杆泵和RUVAC WH罗茨泵的组合,适用于LCD和OLED生产的各种工艺需求。新一代PECVD工艺泵,采用温度控制,实现超大处理量,每腔室可以少用一台泵。
全系列真空解决方案
o 氦质谱检漏仪
专为工业规模生产/质检目的而设计,技术成熟操作简便
o 分子泵
TURBOVAC机械轴承系列
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