3月6日,南大光电在互动平台透露,宁波南大光电目前已安装完成第一条ArF(193nm)光刻胶生产线,该产线仍处于调试阶段。目前,研发的产品正在测试、认证过程中,尚未形成量产和销售。
据了解,2019年7月17日,南大光电在互动平台透露,公司设立光刻胶事业部,并成立了全资子公司“宁波南大光电材料有限公司”,全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”落地实施。目前该项目完成的研发技术正在等待验收中,预计2019年底建成一条光刻胶生产线,项目产业化基地建设顺利。
2019年10月23日,南大光电发布公告称,目前公司“193nm 光刻胶产品的开发与产业化项目”顺利推进。为适应国家集成电路创新发展,公司将加大对先进光刻胶材料以及配套原材料的建设。据悉,南大光电当日与宁波经济技术开发区管委会签署了《投资协议书》。南大光电拟在宁波经济技术开发区投资开发高端集成电路制造用各种先进光刻胶材料以及配套原材料和底部抗反射层等高纯配套材料,形成规模化生产能力,建立配套完整的国产光刻胶产业链。项目计划总投资6亿元,项目完全达产后,预计实现约10亿元的年销售额,年利税预计约2亿元。
此前,据北仑新闻网报道,南大光电材料公司将于2020年2月迎来光刻机进场。目前看来,该项目进展顺利。