龙腾光电获得实用新型专利授权：“曝光系统及曝光机”

根据企查查数据显示龙腾光电(688055)新获得一项实用新型专利授权，专利名为“曝光系统及曝光机”，专利申请号为CN202322971626.4，授权日为2024年6月4日。

专利摘要：本实用新型公开了一种曝光系统及曝光机。曝光系统包括：光源组件、弧形镜组、掩膜版、透镜组和补偿镜组；光源组件的出射光依次经过弧形镜组、掩膜版及透镜组后对第一基板进行曝光；掩膜版能够沿第一方向或第一方向的反方向移动；补偿镜组设置于透镜组的出射光路上；补偿镜组设有至少一个在第一方向上位置可变的补偿区域，每个补偿区域包括沿第一方向排列的第一透光区和与第二透光区；第一透光区和第二透光区的透光率不同；且第一透光区的宽度与第一基板对应的光阻膜厚异常区的宽度相等，第二透光区的宽度大于或等于透镜组出射光的宽度的二倍。本实用新型能够提高产品线宽的均一性，提高产品良率。

今年以来龙腾光电新获得专利授权93个，较去年同期减少了7%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增14.47%。