台积电3奈米厂投资规模高达200亿美元（约新币6000亿元）。（资料照）
台积电董事长张忠谋日前接受外媒访时表示，将投资200亿美元（约6千亿台币）在南科设立最先进3奈米制程。台积电供应链预估，未来台积电将花费近1.8兆台币在设备及材料投资上，并吸引全球顶尖半导体设备和材料厂扩大在台湾的布局。
张忠谋受访时提到，台积电未来5年资本支出将成长5%~10%，以5%至10%幅度成长，每年资本支出维持在100亿美元，与英特尔、三星维持并驾齐驱的地位。他强调，3奈米厂投资金额将会超过200亿美元，随着晶片制程技术愈先进复杂，未来可能将每年的资本支出提高至110亿美元。
“配合3奈米投资计划，目前已有多家半导体设备和材料厂，同时宣布扩大在台投资，以减短交期时间，协助台积电降低成本。”经济日报报导，这些厂商包括美商应材、荷商艾司摩尔（ASML）、德商默克（Merck）、美商科林研发（Lam Research）、日商艾尔斯（RSTechnologies）及美商英特格（Entegris）等，扩大在台湾布局，包括设备应用组装中心，以及技术和材料研发中心。
