来自欣奕华Sineva公众号消息，近日泛半导体智能制造整体解决方案供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）已完成12inch半导体自动物料搬送系统AMHS（Automatic Material Handling System）的开发和Demo系统运营，并通过了技术规格验证。
合肥欣奕华表示，AMHS系统是12inch先进工艺晶圆厂大规模量产，是提高生产效率的优先选择。随着行业技术发展，AMHS也将被大规模应用于12inch硅片制造、芯片制造、先进封装等各种半导体制造工序中。
合肥欣奕华AMHS系统的搬送效率、晶圆保护、动作精度等各项性能指标均达到国际先进水平，而且拥有独有的路径搜索算法专利，具备大规模车辆智能调度能力。其中自主研发的高速OHT产品，技术规格和信赖性达到业界领先水平，可以在最高320m/min的高速行驶下平稳运行，同时高速行驶的振动数据、移栽速度、Vehicle间防冲撞控制等技术指标比肩业界顶尖供应商。合肥欣奕华OHT最大负载15公斤，可以对应多种制造工序的产品，而且具备单LOOP内同时控制200台Vehicle的配车能力。
“我们打造了占地面积400平米，有数百米轨道的庞大AMHS Demo系统，产品具备先进的技术和快速迭代能力。”据该公司AMHS产品负责人介绍，OHT和Stocker的Demo为了验证复杂系统的信赖性和技术指标，OHT设计了多种复杂轨道环境，包括直轨、转弯、分歧合流部等，进一步还特别设计并验证倾斜轨道爬坡功能、双层轨道、轨道自清洁功能以及搬送中的晶圆盒后盖异常实时侦测功能等。
据了解，合肥欣奕华开发团队拥有超过15年AMHS从业经验，深刻理解半导体AMHS产品应用及产品技术，目前已申请专利和软著二十多项。
