10月23日消息，据韩媒，设备公司HB向天马供应用于有机发光二极管（OLED）制造的自动光学检测（AOI）设备。据估计规模约40亿至50亿韩元。
据中国招标网21日报道，HB公司将向厦门天马显示技术公司提供3台AOI设备。厦门天马是厦门第6代（1500x1850mm）柔性OLED生产线（TM18）的承办单位。
供应设备包括两台EL（电致发光）掩膜AOI设备和一台TFE（薄膜封装）掩膜AOI设备。EL掩膜AOI设备用于检验在OLED发光层沉积工艺中所需的细金属掩膜（FMM）。FMM是一种具有微小而密集孔隙的金属膜，用于将发光有机物质（红、绿、蓝）准确分离并沉积到各像素位置。AOI设备用于检测FMM上的缺陷或损伤，以防止不良品的产生。天马要求EL掩膜AOI设备的性能达到检测3微米尺寸缺陷的要求。
TFE掩膜AOI设备用于检测OLED TFE形成工艺中所需的掩膜缺陷。TFE工艺交替堆叠无机层和有机层。在此过程中使用的掩膜类似于FMM，但其功能是均匀堆叠材料而不是分离。它界定了被形成封装层的区域，并确定了沉积区域的边界。有两种类型的掩膜：开放金属掩膜（OM）和图案掩膜（PM）。天马要求的TFE掩膜AOI设备能够检测到高达1微米高度的缺陷。
HB公司拥有能够检测FMM掩膜和TFE用掩膜的表面缺陷、异物以及弯曲度测量的超微检测设备。HB公司表示：“AOI系统应用了高速图像处理流程（DDM核心）技术、光学算法以及高性能的‘时间延时累加（TDI）’扫描摄像头控制技术”，可以精确快速地检测和分类微小缺陷。”
“借助高灵敏度技术，可以达到0.4微米的缺陷检测能力。”HB公司补充说，TDI扫描摄像头在一次拍摄中进行多次扫描，输出更明亮、更清晰的结果，相较于传统扫描摄像头效果更好。
根据今年第二季度的数据，HB公司的OLED检测设备价格是每台平均1563百万韩元。估计3台检测设备的价格为40亿至50亿韩元。
HB公司表示：“即使是同一产品，在项目中客户需求各不相同，因此设备价格差异很大。”今年上半年，HB公司的营业额为723亿韩元左右，占约6%。
这并不是HB公司首次向天马供应设备。HB公司表示：“三星显示、三星SDI、天马、京东方、华映等都是其主要交易伙伴。”
天马看起来将在其第6代柔性OLED生产线上使用该检测设备。据悉，最近天马正在对TM18第1阶段生产线的老化设备进行更换和改进的补充投资。TM18由1到2个阶段组成，第1阶段已于2022年开始运行。
