韩国媒体报道，多名产业内部人士7月4日表示，三星电子最先进、位于京畿道华城厂的V1产线依然面临良率不佳的问题，部分5nm制程产品的良率依然低于50%。
据《韩国商报》报道，三星的华城厂V1产线是世界第一条专门用EUV工艺技术生产7nm以下半导体产品的产线。三星电子与2020年2月开始运作这条产线。
对于传闻，三星方面表示具体的良率量产不便对外公开，全部产线正按计划进行生产。
三星官方没有明确否认EUV良率的问题，多少也暗示了良率过低的存在，50%的良率意味着只有一半的芯片能用，这样会大幅提升芯片的成本，产量也会严重减少。
半导体厂商业务表现最重要的是良率，整体而言，半导体生产业者的良率必须超过95%。三星电子当前正与台积电5nm以下超微细制程竞争。
