台积电先进制程的中国台湾南科18a厂，昨（29）日晚间惊传制程出状况，部分产线停摆，今日上午供应商全数被挡在厂区外，供应链透露，应是氧气供应受到污染，由于牵涉制程相当广，台积电自昨晚至早上，已忙成一团。
台积电今日证实有部分来自厂商供应氧体疑似受到污染，已即时调度其他气体供应，此现象对产线并无造成显著影响，晶片仍正常生产。
不过从供应商被挡在门外，且消息传出今日12时台积电18厂举行生产会议 ，确实生产受到影响。
半导体业者表示，半导体制程高达700多道，约有270道需使用氧气，涵盖蚀刻、物理及化学研磨，几乎都是核心制程，且台积电18a又是目前台积电最先进5奈米核心制程，目前生产项目又是苹果下世代5G手机要用的核心处理器和超微新一代处理器，此刻发生氧气受到污染，恐怕是直中台积电要害，但预料台积电也会全力排除相关问题，尽速让产线恢复，只是详细影响，有待台积电进一步说明。
