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三星NRD-K研发综合体进机,将导入ASML High NA EUV光刻设备

2024-11-20 14:286220

11月20日消息,三星电子韩国当地时间本月18日举行了位于器兴园区的NRD-K新半导体研发综合体的进机仪式,标志着这一2022年动工的研发中心开始设备安装。

NRD-K半导体研发综合体占地面积10.9万平方米,将成为三星电子DS部下属三大事业部(存储器、系统LSI和Foundry)的共同核心研发基地,到2030年这一项目将累计获得约20万亿韩元(约合1039.2亿元人民币)的投资。

NRD-K还将包含一条研发专用线,该产线将于2025年中投入使用。

▲NRD-K工地。图源三星电子官网,下同

NRD-K综合体将导入ASMLHighNAEUV光刻机、新材料沉积设备在内的一系列最先进半导体生产工具,旨在加速3DDRAM、千层V-NAND在内的下代存储芯片开发,还将建设WoW晶圆键合基础设施。

三星DS部负责人全永铉在仪式上表示,通过NRD-K,我们将建立从基础研究到量产的下一代半导体技术的良性循环体系,从而大幅提高开发速度。我们将从三星电子半导体50年历史的起点器兴出发,为实现新的飞跃奠定基础,并创造新的百年未来。

▲全永铉

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