面板用高压喷淋设备HPMJ

产品的性能及优点、用途、售后服务、包装等

1.设备用途:

HPMJ高压喷淋装置:使用High pressure 5~18Mpa打力,去除0~1um大小的particle,

2.设备优点:

HPMJ主体与Nozzle采用SUS304材质，与底座连接采用O ring，保证密封性;High Pressure Pump满足电源频率50HZ和60HZ，可由T/P设定

供给管路采用SUS304材质;HPMJ管路需配备流量计和压力计

供给管路DIW中需有CO2注入，防止静电产生

DIW需Filter过滤，两级过滤，管路需具有调压阀

HPMJ正下方区域传送shaft需更换为宽Roller，便于承受高压，保证搬送平稳，防止破片

PUMP 需具有Oil Seal,防止油污进入污染DIW

DIW需求流量≥50LPM

设备限制小于L*W*H:2400*1200*1800m

3.售后服务

24小时oncall,2小时到现场,主要零部件有库存,售后保固服务1~2年